Station de mesure Altisurf 530

Développé principalement pour les applications semi conducteur, l’Altisurf 530 constitue également la base de nombreuses stations de métrologie adaptées à des besoins clients très spécifique

Description

Développé principalement pour les applications semi conducteur, l’Altisurf 530 constitue également la base de nombreuses stations de métrologie adaptées à des besoins clients très spécifiques.

 

Tout comme les Altisurf 500 et 520, il peut intégrer tous types de capteur et de posage.

Points Clés

  • Mesures avec / sans contact
  • Architecture modulaire

Spécifications

Axes

  • Course en X, Y , Z (mm): 300 × 300 × 300

  • Axes motorisés DC

  • Planéité inférieure à 2µm sur 300mm après correction

  • Vitesse Max. : jusqu’à 40 mm/s

  • Option: encodeur 0,1 µm

  • Option: double axe de rotation

Capteur

  • Large gamme de capteurs embarquables

  • Contact: palpeur inductif pointe diamant, µ-force

  • Sans contact: confocal, triangulation laser, interférométrique

  • Caméra haute résolution

IHM

  • Mode automatisé pour la production

  • Lien avec des automates

  • Contrôle atelier (feu rouge/feu vert)

  • Définition de protocole par auto-apprentissage

Notes d'applications
& articles techniques