Station de mesure Altisurf 530
Développé principalement pour les applications semi conducteur, l’Altisurf 530 constitue également la base de nombreuses stations de métrologie adaptées à des besoins clients très spécifique
Description
Développé principalement pour les applications semi conducteur, l’Altisurf 530 constitue également la base de nombreuses stations de métrologie adaptées à des besoins clients très spécifiques.
Tout comme les Altisurf 500 et 520, il peut intégrer tous types de capteur et de posage.
Points Clés
- Mesures avec / sans contact
- Architecture modulaire
Spécifications
Axes
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Course en X, Y , Z (mm): 300 × 300 × 300
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Axes motorisés DC
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Planéité inférieure à 2µm sur 300mm après correction
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Vitesse Max. : jusqu’à 40 mm/s
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Option: encodeur 0,1 µm
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Option: double axe de rotation
Capteur
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Large gamme de capteurs embarquables
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Contact: palpeur inductif pointe diamant, µ-force
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Sans contact: confocal, triangulation laser, interférométrique
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Caméra haute résolution
IHM
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Mode automatisé pour la production
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Lien avec des automates
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Contrôle atelier (feu rouge/feu vert)
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Définition de protocole par auto-apprentissage