Station de mesure Altisurf 530
Plongez-vous dans un univers où la précision et la rapidité de mesure sont au cœur des opérations grâce à la station de mesure optique 3D pour la métrologie des surfaces, AltiSurf©530. Parfaitement adapté pour caractériser les pièces de grandes dimensions et pour des applications impliquant des mesures multi-échantillons, cet équipement industriel de pointe est un précieux allié pour l’optimisation de vos processus de fabrication.
Description
L’AltiSurf© 530 a été développé pour les applications en nanotechnologie, avec un alignement automatique des fonctions du wafer. Comme tous les profilomètres 3D de la gamme AltiSurf©, la station AltiSurf© 530 incorpore les dernières technologies de capteurs optiques ponctuels ou linéaires et, grâce à sa grande taille (300x300mm), elle est très pratique pour les pièces et échantillons de grande taille, que ce soit en production ou en R&D. Tout comme les Altisurf 500 et 520, il peut intégrer tous types de capteur et de posage.
Points Clés
- Possibilité de mesurer toutes les surfaces (rugueuses, transparentes, noires, polies…)
- Vaste choix de plages de mesure et de technologies (confocale, interféro, contact)
- Mesure optique : pas de dommage à la pièce mesurée
- Zone de mesure max. 300x300x300mm zone de mesure
- Résolution identique pour chaque point – données très précises
- Permutation automatique entre la caméra et 2 autres capteurs
- Protocoles de mesure intégrés
- Interface facile à utiliser : automatisation des protocoles
Spécifications
Axes
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Course en X, Y , Z (mm): 300 × 300 × 300
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Axes motorisés DC
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Planéité inférieure à 2µm sur 300mm après correction
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Vitesse Max. : jusqu’à 40 mm/s
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Option: encodeur 0,1 µm
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Option: double axe de rotation
Capteur
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Large gamme de capteurs embarquables
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Contact: palpeur inductif pointe diamant, µ-force
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Sans contact: confocal, triangulation laser, interférométrique
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Caméra haute résolution
IHM
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Mode automatisé pour la production
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Lien avec des automates
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Contrôle atelier (feu rouge/feu vert)
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Définition de protocole par auto-apprentissage
Station de mesure Altisurf 530
Assurer la qualité du contrôle et la cadence rapide des opérations dans le contexte industriel requiert une combinaison harmonieuse de précision et de rapidité. L’AltiSurf©530, avec sa résolution en Z de moins de 2 nm et sa vitesse de déplacement de table dépassant 100 mm/s, répond parfaitement à ces exigences. Que vous ayez besoin d’assurer la qualité des wafers 12″ dans les applications semi-conducteurs ou de mesurer des pièces multi-échantillons, cet équipement apporte une valeur ajoutée indéniable grâce à sa précision et sa rapidité de mesure. La flexibilité est un atout considérable en milieu industriel. L’AltiSurf©530 peut être équipé de divers capteurs pour répondre à une multitude de besoins de mesure, lui permettant d’analyser toutes les surfaces, quelles soient rugueuses, transparentes, noires ou polies. C’est une flexibilité qui facilite considérablement la mise en œuvre des opérations de contrôle de qualité. L’AltiSurf©530 est doté de la technologie IR pour la mesure d’épaisseur sur silicium sans aspiration, assurant ainsi une haute précision sans endommager les pièces mesurées. L’AltiSurf©530 a été conçu avec une emphase sur la facilité d’utilisation. Son interface presse-bouton conviviale en témoigne parfaitement. Cette conception axée sur l’utilisateur le rend accessibles à tous, indépendamment de leur niveau technique, d’où une facilité de déploiement et une optimisation de l’utilisation.
