La platine compatible vide GO TipTilt déplace des charges allant jusqu’à 2,5 kg avec une précision nanométrique le long de l’axe Z, ainsi qu’autour de l’axe X et de l’axe Y dans un environnement sous vide.
| 15NM | 30NM | |
| Voyage (Z) | Plus ou moins 10 mm | |
| Déplacement Θ(X, Y) | Plus ou moins 9° | |
| Mouvement incrémental minimum (Z) | 2nm | |
| Mouvement incrémental minimum Θ(X, Y) | 0,1 µrad | |
| Répétabilité (Z) | Plus ou moins 200 nm | |
| Répétabilité Θ(Z) | Plus ou moins 15 µrad | |
| Mouvement | ||
| Force de fonctionnement maximale (pousser/tirer) | (Z) 15 N (MIN.) | (Z) 30 N (MIN.) |
| Force de maintien (lorsque l’alimentation est coupée) | (Z) 18 N (MIN.) | (Z) 30 N (MIN.) |
| Vitesse maximale à vide (Z) | 8 mm/s | 8 mm/s |
| Vitesse maximale avec charge maximale sur la plaque supérieure (Z) | >5 mm/s | >1 mm/s |
| Type de lecteur | ||
| Module de base | Platine linéaire PRECIBEO GO 4545 |
PRECIBEO GO Stage LLS4545
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| Mécanique | ||
| Charge maximale centrée sur le dessus | 1 kg | 2,5 kg |
| Diamètre | 150 mm | |
| Hauteur | 92 mm | |
| Divers | ||
| Câbles latéraux sous vide |
Câble de 1 m (+-5%) avec connecteur f. D9SUB
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| Câbles côté air |
Câble de 2 m (+-5 %) avec connecteurs D9SUB et ix Industrial™
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| Matériel | Aluminium anodisé |
