La platine GO XYR HV déplace des charges allant jusqu’à 10 kg avec une précision nanométrique le long des axes X, Y & Z dans les environnements sous vide jusqu’à 10-4 Pa.
| GO XYR STAGE – 8 N | GO XYR STAGE – 16 N | |
| Voyage (X, Y) | Plus ou moins 10 mm | |
| Déplacement Θ(Z) | Plus ou moins 10° | |
| Mouvement incrémental minimum (X, Y) | 2nm | |
| Mouvement incrémental minimum Θ(Z) | 0,1 µrad | |
| Répétabilité (X, Y) | Plus ou moins 200 nm | |
| Répétabilité Θ(Z) | Plus ou moins 15 µrad | |
| Mouvement | ||
| Force de fonctionnement maximale (pousser/tirer) | (X) 10 N / (Y) 8 N (MIN.) | (X) 20 N / (Y) 16 N (MIN.) |
| Force de maintien (lorsque l’alimentation est coupée) | (X) 12 N / (Y) 10 N (MIN.) | (X) 24 N / (Y) 20 N (MIN.) |
| Vitesse maximale à vide (Z) | 8 mm/s | 8 mm/s |
| Vitesse maximale avec charge maximale sur la plaque supérieure (Z) | >5 mm/s | >1 mm/s |
| Type de lecteur | ||
| Module de base | Platine linéaire PRECIBEO GO LS4545 |
Platine Linéaire PRECIBEO GO LS4545
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| Mécanique | ||
| Charge maximale centrée sur le dessus | 10 kg | |
| Diamètre | 165 mm | |
| Hauteur | 73,5 mm | |
| Divers | ||
| Câbles à vide |
Câble de 1 m (+-5%) avec connecteur f. D9SUB
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| Câbles côté air |
Câble de 2 m (+-5 %) avec connecteurs D9SUB et ix Industrial™
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| Matériel | Aluminium anodisé |
